Messtechnik
Messtechnik
MarSurf WM 100
DE
Das hochpräzise optische Messgerät MarSurf WM 100 mit Sub-Nanometer-Auflösung und Messgenauigkeit. Ein 3D-Weißlichtinterferometer-Messsystem.
  • Höchste Präzision mit Sub-Nanometer-Auflösung und Meßgenauigkeit
  • Universelle Eignung für optische und spiegelnde Oberflächen, feine technische Oberflächen sowie Oberflächen von Leiterkarten und Halbleiterprodukten sowie biologischen Geweben
  • 2D-Oberflächenanalyse und Messauswertungen
  • Topografische 3D-Oberflächenanalyse und Messwertauswertungen
  • Schnelle Messungen - kurze Messzeiten
  • Manuelle Tisch- bzw. Objektpositionierung in bis zu 4 Achsen
  • Große Auswahl an Objektiven ermöglicht eine ideale Anpassung an das Messobjekt
  • Stabiler Aufbau mit Granit-Basisplatte
  • Professionelle Auswertesoftware auf Basis von MountainsMap©
  • Technische Daten
  • Anwendungen
  • Optionen
  • Versionen
  • Lieferumfang

Messprinzip
Interferometrisch, Weißlicht-interferometrisch
Lichtquelle (WLI): Hochleistungs-LED, 505 nm
Messbereich mm
Sensoreinheit über 200 mm manuell in Z verfahrbar
Objekttisch in X und Y manuell verfahrbar

Interferometer, Weißlichtinterferometer:
Messbereich (WLI): Bis zu 100 µm (vertikal)
Anschlüsse
230 V, 50 Hz

Maschinenbau
Feine metallische Oberflächen aller Art (geschliffen, gewalzt, usw.), auch laserstrukturierte Oberflächen, feine keramische und Kunststoff-Oberflächen, Oberflächen von Gussformen

Medizin
Metallische, keramische und Kunsstoff-Oberflächen an Implantaten, Prothesen und Instrumenten

Elektronik

Oberflächenanalyse von Beschichtungen, Messung und Analyse von Elektronik- und Halbleiter-Bauelementen

Optik

Rauigkeitsanalyse diverser Optikkomponenten (alle Werkstoffe)

  • Sensorik, bestehend aus:
    • WLI Sensorkopf
    • Kamera 768x582 Pixel, bis 48 Bilder/s
    • 100 µm Z-Achse mit Piezotrieb
    • WLI Softwaremodul, Software "Inspector"
  • Granitbasis und Säule mit manueller Z-Positionierung der Sensorik
  • Manueller XY-Objekttisch zur Probenpositionierung
  • Objektiv 20x0,4 DI (Weißlichtinterferometer)