Messtechnik
Messtechnik
MarSurf FI 3100 VB
DE
Produkteigenschaften
Gleichzeitige mehrfache Phasenschiebung für vibrationsunempfindliche Messungen im Produktionsumfeld
MarSurf FI 3100 VB, das Fizeau Interferometer mit zeitgleicher mehrfacher Phasenschiebung, ist ein vibrationsunabhängiges Messsystem, welches in Echtzeit arbeitet und eine minimale Verschlusszeit von lediglich 10 µs bietet. Einerseits ist MarSurf FI 3100 VB optimiert für den Einsatz im fertigungsnahen Umfeld und andererseits werden sehr hohe Genauigkeit, Stabilität und Wiederholgenauigkeit erreicht. Die neue SPARC-Technologie von Mahr ermöglicht Messfehler unter λ / 100 ohne Schwingungsisolation.

Merkmale
  • Absolute Vibrationsunempfindlichkeit
  • Fizeau-Strahlengang
  • Oberflächen mit Reflexionsgraden von 0,1 bis 100 % können untersucht werden
  • Automatische Spannungsmessung 10 µs Aufnahmezeit
  • 1k x 1k Auflösung
  • Kompatibel zu Referenzoptiken und Zubehör, welches die standardisierte 100 mm (4“) Schnittstelle nutzt.
  • Anwendungen

  • Messungen an Planoptiken, konkaven und konvexen Oberflächen unterschiedlichster Größe
  • Messungen über große Distanzen auch in Vakuumkammern
  • In-situ-Messungen an optischen, bearbeiteten & Waferoberflächen
  • Dynamische Messungen thermodynamischer Vorgängen, von Objekten in Bewegung
  • Charakterisierung & Kompensation von Doppelbrechungseffekten