計測技術
計測技術
MarSurf CM explorer 3D表面測定
JA
柔軟で総合的な測定ソリューション
MarSurf CM エクスプローラーは、 表面の三次元測定・解析用の小型共焦点顕微鏡です – 非触覚、材料に依存せずかつ高速

MarSurf CM エクスプローラーは、 堅牢な構造と環境の影響を受けにくいため、テストラボでの使用に適しており、生産環境での品質保証用に装備されています。

主な利点:
  • フル分解能でも速い測定速度高速測定速度
  • ユーザーフレンドリーなコンセプト
  • 加工対象物と測定システムを保護するためあらゆる方向での衝突検出を行うことで安全性を確保します
  • ハイダイナミックレンジ(HDR)機能、16ビット
  • HDステッチングによる大きな測定面の一貫した高解像度出力

この実証済み光学測定システムは、例えば以下の用途に使用されています:
  • DIN EN ISO 4287/25178に準拠した粗さ測定
  • 地形測定(体積、損耗、等方性を含む)
  • ミクロ形状と層厚の測定

ユーザー様はMarSurf CMを高く評価しています エクスプローラーは、 定量的追跡可能性を提供する信頼できる測定システムです 多くの産業向けの3D特性
  • 技術データ
  • 用途
  • 発送

分解能
up to 2 (nm) vertical
測定速度
up to 100fps
測定原則

共焦点 
高性能LED(505 nm /ホワイト)

その他
Collision detection in xyz direction
供給電源
100 - 240 V
表面パラメータ
ISO 4287, ISO 13565, ISO 25178, …
位置決め量x
50 mm
位置決め量y
50 mm
位置決め体積x y z
70 mm

機械工学
粗さ、形状および摩耗量を定性および定量化  

エレクトロニクスと半導体
欠陥のない製品のサブミクロンまでの部品検査

医療技術
製造および実験室における医療用表面の品質保証

材料科学
新しい表面と製品の機能特性の最適化

マイクロシステムズテクノロジー
ナノメートルの精度で最小部品の複雑な表面形状を測定

MarSurf CM エクスプローラーは、
  • 共焦点測定ヘッド 
    • HDRカメラ(モノクロームまたはカラーカメラ)
    • 識別機能付き4倍レンズリボルバー
  • 制御電子機器を含むL-三脚
  • サンプルの位置決めと画像フィールドのマージ( "ステッチング")のためのガラススケールを備えた電動XYテーブル(50 x 50 mm)
  • ガラス製スケール付き電動Z軸(70 mm) 
  • 24インチTFTモニター付き測定システムコンピューター
  • 対物レンズ:
    • 5倍から100倍まで選択可能
  • 直感的なデータ収集のためのMarSurf MSW
  • 専門家による評価、グラフィック表示および測定記録の作成用MarSurf MfM
    (標準、拡張またはプレミアムバージョンの選択)