計測技術
計測技術
MarSurf UD 130 輪郭および表面測定ステーションの組み合わせ
JA

MarSurf UD 130
この MarSurf UD 130は、 ハイエンドソリューションMarSurf LD 130 / LD 260と、二つのプローブシステムを備えた新しい標準コンビネーション測定ステーションMarSurf VD 140/280とのギャップを補填します。
MarSurf UD 130の技術仕様は、干渉プローブシステムと各対象加工物の測定時間を短縮する位置決め速度に基づいています。



  • 技術データ

分解能
2 nm
測定速度
0.1 mm/s ~ 5 mm/s;
粗さ測定用
0.1 mm / s〜0.5 mm / sが推奨されます
位置決め速度
0.1 mm/s ~ 30 mm/s
ラバース長の始点 (X)
0.1 mm
ラバース長のエンド (X)
130 mm
プローブ
標準プローブLP-D14-10-2/60°
測定範囲mm

10 mm(100 mmプローブアーム)
20 mm(200 mmプローブアーム)

分解能詳細
2 nm
トラバース長
0.1 mm~ 130 mm
測定力 (N)
1 mN ~ 30 mN、ソフトエアで調整可能